氣體管路是實驗室氣體管道工程的主體部分之一,在鋪設施工時要嚴格遵循相關技術要求及標準,才能保證使用過程中的安全穩(wěn)定。下面四川企惠就來為大家詳細介紹下,在實驗室氣體管道工程施工中,管路鋪設的技術要求?! 嶒炇壹泄獾墓艿蓝家褂酶哔|量、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管(BA級),某些對氣體純度要求不高的地方,如通風柜,可以使用銅管?! 怏w管道不得和電纜、導電線路同架鋪設?! ∫兹家妆瑲怏w,如乙...
2023-08
管道的安裝連接是實驗室氣體管道工程的關鍵施工部分,連接方法的正確與否關系到整個工程的質量。目前氣體管道的連接方法主要有螺紋連接、法蘭連接和焊接連接,每種連接方法都有其適用的場景,是由輸送氣體的性質、壓力、溫度以及管道材質、尺寸、安裝場所等因素決定,下面普萊斯特就來為大家詳細介紹實驗室氣體管道的三種連接方法?! ∫?、螺紋連接 螺紋連接主要適用于小直徑的管道,連接時,要在螺紋連接部分纏上氟塑料密...
2023-08
一般工藝氣體都是儲存在鋼瓶中,鋼瓶作為氣源相對方便使用。過去無論是在半導體生產車間,抑或是科研單位的實驗室,鋼瓶總是出現(xiàn)在需要的地方,而沒有一個統(tǒng)一的規(guī)劃布置。隨著半導體行業(yè)的蓬勃發(fā)展,對其配套項目也提出了更高要求。比如在集中供氣系統(tǒng)中一般要有專用裝置儲存鋼瓶,在過去十多年中,蓋斯帕克沒有發(fā)明集中供氣之前,特種氣體供應沒有形成有效的系統(tǒng),鋼瓶凌亂,管理混亂,不相容氣體混放等問題比較嚴重,極大的...
2023-07
特種供氣系統(tǒng)報警系統(tǒng)泄漏的應急處理及從業(yè)人員安全注意事項 專用氣瓶裝入專用氣柜,經(jīng)專用氣柜降壓過濾后,送入車間VMB/VMP(有毒氣體用VMB,無毒氣體用VMP)。特殊氣體進入VMB/VMP后,根據(jù)設備所需壓力再次降壓,達到設備所需壓力。最后,降壓后的特種氣體被分成若干支路,送入相應的設備?! √胤N供氣系統(tǒng)報警系統(tǒng)泄漏的應急處理及從業(yè)人員安全注意事項特殊氣體報警系統(tǒng)對于有毒氣體,本設備配有專門...
2023-07
實驗室氣路系統(tǒng)的驗收過程。這是非常重要的一步,需要確保實驗室氣路系統(tǒng)的質量和安全性?! ∈紫?,我們需要審查實驗室氣路系統(tǒng)的設計文件,確保其符合國家相關標準和規(guī)范。然后,我們還需要檢查實驗室氣路系統(tǒng)的安裝質量,包括管道連接是否牢固、調節(jié)器和流量計的精度是否符合要求等。 接下來,對實驗室氣路系統(tǒng)中的氣體進行純度檢測,確保其符合實驗的要求。同時,對實驗室氣路系統(tǒng)中的氣體壓力進行穩(wěn)定性檢測,確保其穩(wěn)...
2023-07
實驗室氣體管路系統(tǒng)是實驗室中必不可少的設備之一,它主要用于將氣體從氣源輸送到實驗器材內部,是實驗研究中不可或缺的一個環(huán)節(jié)。本文將從多個角度對實驗室氣體管路系統(tǒng)進行概述?! ∫?、組成結構 實驗室氣體管路系統(tǒng)主要由氣源、氣體輸送管路、氣體處理裝置和實驗器材等組成。氣源包括壓縮空氣、氣瓶、液氮或液氧等,氣體輸送管路分為主管道和分支管道,氣體處理裝置包括減壓閥、過濾器、調壓器和調流器等,實驗器材則包...
2023-07
管子、管子聯(lián)接件、閥門和設備上的進出接管間的聯(lián)接方法,由氣體的性質、壓力和溫度以及管子的材質、尺寸和安裝場所等因素決定,主要有螺紋聯(lián)接、法蘭聯(lián)接、承插聯(lián)接和焊接等四種方法?! ?、螺紋聯(lián)接 主要適用于小直徑管道。聯(lián)接時,一般要在螺紋聯(lián)接部分纏上氟塑料密封帶,或涂上厚漆、繞上麻絲等密封材料,以防止泄漏。在1.6兆帕以上壓力時,一般在管子端面加墊片密封。這種聯(lián)接方法簡單,可以拆卸重裝,但須在管道的適...
2023-07
近年來以大規(guī)模集成電路為代表的微電子產品生產對高純氣體的純度和雜質含量的日益嚴格的要求,使高純氣體的配管技術日益受到關注和重視。以下針對高純氣體輸送從選材到施工以及驗收、日常管理作個簡單的概述?! 〕R姎怏w的種類 電子行業(yè)中常見氣體的分類: 普通氣體,也稱大宗氣體(Bulk gas):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等 特種氣體(Specialty gas)主要有SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL...
2023-07
電子特氣管道系統(tǒng)配管及附件材質的選擇 選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。目前超大規(guī)模集成電路前工序高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料采用不銹鋼光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不銹鋼電拋光管(SS316L-EP)等,但是對要求控制高純氣體中總雜質含量≤1.01.0×10-6及以下的管材應用SS316L-EP管。 注:①管路型式以氣體特性設計,惰性氣體使用一般的單層管,作為制程用的反應氣體,則選用高級別的SS...
2023-06
電子特氣管道系統(tǒng)的設計要點: 1.對于不同特性的氣體,要規(guī)劃獨立的供應區(qū)域,一般分為三個區(qū):腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū),將相同性質的氣體集中加強管理,可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口,若空間不足,可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。 2.管路設計需要考慮輸送的距離,距離越長,成本越高,風險也越高,通常較合理的設計流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于...
2023-06